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淺談質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)流量偏差的排查方法

2021-09-29 07:55:02
本文關(guān)鍵字:質(zhì)量流量控制器

  質(zhì)量流量控制器這個(gè)儀表想必大家對(duì)它都有一些了解,之前也為大家介紹了儀表出現(xiàn)故障的原因以及解決方法。那這次小編為大家介紹下儀表測(cè)量時(shí)出現(xiàn)流量誤差的排查方法。
 
  質(zhì)量流量控制器是探測(cè)流量等的儀器,具有無(wú)需預(yù)熱、瞬間啟動(dòng)的特點(diǎn),使其在短短一秒鐘內(nèi)便能開(kāi)始控制真空鍍膜過(guò)程系統(tǒng)的流量,實(shí)時(shí)測(cè)量顯示體積流量、壓力和溫度參數(shù)、質(zhì)量流量等。
 
  淺談質(zhì)量流量控制器出現(xiàn)流量偏差的排查方法;
 
  1、質(zhì)量流量控制器前端壓力是否發(fā)到標(biāo)定壓力。如果質(zhì)量流量控制器的壓力不夠會(huì)出現(xiàn)達(dá)不到標(biāo)定量程;
 
  2、0點(diǎn)是否有漂移。先需接通電源,在信號(hào)為0的情況下,則需要用萬(wàn)網(wǎng)表測(cè)一下輸出信號(hào)值以及看一下電源控制器的反饋信號(hào);
 
  3、氣體是否純凈。如果盤(pán)路有污染,那么流量肯定會(huì)受到影響,這個(gè)時(shí)候可以用高純N2多次清掃,如果還是不能解決則需要找維修中心進(jìn)行維護(hù)。

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